上次随便写了一篇《压力传感器的国产化是当务之急》的公众号小短文,引起了圈内朋友的不少轰动,今天借着机场等机的时间再写第2篇,供大家讨论。
匆匆忙忙的天津一天半行程,昨天半天的会议和晚上的座谈。感觉天津市委,市政府的领导,对于物联网产业的发展即赋能制造业和方方面面的智慧应用,对于招商还是非常务实的,外地的参会人员仅有40多人,却有两位市委常委下午和晚上分别接见座谈,足见天津市对物联网招商的重视。下午和晚上分别有北京和上海的企业家和河西区的领导进行了精准对接,两位主要领导也分别邀请深圳的物联网协会能否在天津举办物联网的展览,开启中国物联网一南一北(深圳和天津)两个大展的未来。
今天和天津一家外资传感器企业的技术大咖朋友进行了近三个小时聊天对话。主要内容是关于中国压力传感器的国产化,中国压力传感器如何在一些高端市场高端应用拓展。当然也聊了聊对我们中星测控原创MCS高端压力传感器的建议及期望。
MEMS压力传感器,是中国目前最流行的压力传感器形式,能做充油芯体的公司有几十家,仅陕西省就有近10家可以做。但是35kpa量程以下的没有能做好的,很多应用还不得不采用进口的。再深入一点,几十家做充油芯体的厂家,大多数买的晶圆也是进口的,能设计晶圆并制造晶圆的寥寥无几。更深入一点,生产晶圆的4寸,6寸,8寸甚至12寸的原材料是国内厂家生产的吗?这就是原沈阳工艺研究所老院长徐先生,几年前一直呼吁: 什么时候,我们中国压力传感器能解决有“器”无“芯”呢?
玻璃微熔工艺做成了压力传感器,其实也同样存在mems晶圆的问题,只不过我们有几家企业仅解决了玻璃微溶的问题,也就是解决了把MEMS晶圆通过玻璃烧结连接到金属上的工艺,当然这也是很大的进步。
陶瓷压阻和陶瓷电容压力传感器芯体,中国的进步还是不小的。陶瓷电容压力传感器芯体,深圳安培龙已经真正解决了这些问题,而且大批量的生产并投入应用,尤其是在汽车工业方面,这应该是我国压力传感器巨大的进步。但是,目前还没有看到像德国E+H公司一样把陶瓷电容压力传感器做到高精度的中国制造商。陶瓷压阻传感器国内也有十几家公司生产,但是大规模的应用,尤其是超过百万只级别的应用,目前还没有发现。
但谷哥上不清楚陶瓷的瓷杯和浆料是否真正实现了国产化。
溅射薄膜工艺,主要是高压力量程的压力传感器,国内近几年也大有发展。算起来国内也有近10家厂家生产。军工企业有很好的生产线,但是低成本,民用化一直没有解决。民营企业研发投入溅射薄膜工艺,在湖南省表现尤为突出,但是长期稳定性和大批量应用还有待于提高。值得肯定,这也是一个很大的进步。同样,谷哥不清楚,采用溅射工艺材料是否真正实现了国产化?
在聊天的同时,谷哥手机里就有一些微信朋友问我有没有这样那样的传感器。比如,上面这样低压的真空硅压力传感器,应用于半导体行业,1000乇的压力量程,我们MCS应该可以做,但还有工艺环境的升级问题,没有解决,这需要增加投资。能生产上面这样传感器的中国公司,欢迎联系谷哥呀。再比如上面这样高频响,高温的压力传感器,实际上高温传感器一直是中国压力传感器公司的一个难点,再加上高频响应又是难上加难。也欢迎能生产上面这种传感器的公司联系谷哥本人。
估计没有人了解中国有多少家生产压力传感器公司的厂商。2019年谷哥本人亲自撰写的《中国工业压力传感器白皮书》当时统计了中国生产工业压力传感器的公司仅800家。但是当时并没有注意到很多不叫传感器名公司,但却生产传感器的企业,另外还有一些国有的研究院所也没法统计战略。但这么多的公司同质化严重,能生产的大家拼价钱,不能生产的大家不愿意投入,也不想投入,等待别人投后,以便仿制,这确实有点可悲。随着中外科技战进行,这也是中国企业必须解决的问题。
经常有人问我,中国有没有生产压力传感器公司能够替代美国库里特或者恩德福克或PCB公司的?这些是小尺寸高频响。经常有人问我中国有没有传感器公司可以替代日本横河和美国罗斯蒙特公司压力传感器芯体的?这些是高精度,高稳定性和可靠性。也有人问我能够生产1500Mpa的压力传感器?也有人问我有没有能耐1800度,3000度长期工作的压力传感器?
我确实没有好的答案。
我们西安中星测控公司花了近10年的时间仅仅是研制了一种MCS技术的压力传感器。希望能解决高精度,最高到2/10000;相对高温,目前到180度;大量程,理论可以到1200兆帕;低温,零下70度;小量程,目前最低50kpa。欢迎有这方面的业务,可以共同研究共同进步。
已经开始催收登机了,结束今天的公众号小作文。
#2025.09.17:48 天津机场#